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    2.45Ghz 微波91视频免费下载清洗机NE-MW70
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    产品简介

    微波91视频免费下载清洗机,设备结构由五部分组成:外壳框架系统、微波放电系统、真空系统、供气系统和控制系统。该设备控制方式为工控机+PLC,操作方式包括自动模式和手动模式,在自动模式下将不同工艺参数按照配方方式管理,可同时存储50组不同的配方。设备设计有工作气体耗尽报警、压缩空气压力低于设定值报警、泵热过载报警、反应仓泄露率过大报警等安全功能。

    微波91视频免费下载清洗作为一种绿色无污染的高精密干法清洗方式,可以有效去除表面污染物,避免静电损伤。微波91视频免费下载清洗与低频或射频放电产生的91视频免费下载体相比,相对于前两者,微波91视频免费下载清洗机的优点在于:(1)无内部电极,可避免放电污染,能量转换效率高,可产生大范围的高密度91视频免费下载体;(2)无损伤工艺,自偏压极小;(3)高电子密度,制备各种功能薄膜材料的速率较快;(4)离子冲击小,对器件的损伤小;(5)不产生紫外线辐射。

    正是因为具有以上优点,微波91视频免费下载在一些工艺中具有不可替代性,例如一些电敏感器件制程中的去胶和清洗。由于激发频率高,离子动能小,化学91视频免费下载作用在微波91视频免费下载中占主要部分,可以实现更均匀有效地清洗,在清洗中没有物理91视频免费下载体所产生的物理冲击和溅射现象,在高可靠性要求的器件尤其是敏感电路的制程清洗过程中,微波91视频免费下载清洗机成为关键首选的设备。

    产品参数

    型号NE-MW70
    外形尺寸
    1240(W)×1200(D) ×1800(H) mm
    腔体尺寸390(W)*470(D)*400(H)mm; 73L
    载物台尺寸Φ330mm
    91视频免费下载体发生器频率2.45GHz,功率0-1000W可调
    腔体材质航空铝合金
    电极规格底部装有可旋转托盘,仓体右侧安装陶瓷基板,用于扩散微波
    真空系统双级真空泵,进口气动角阀、充气阀,高精度真空计
    气路系统标配2路工艺气体,带质量流量计,气体流量0-500SCCM可调
    控制系统触摸屏+PLC全自动控制,手动+自动两种操作模式
    输入电压AC380V,50/60Hz,三相五线100A 


    产品应用

    01

    光刻胶底膜去除

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    02

    氧化物还原

    氧化物还原

    03

    表面有机污染物去除

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    04

    表面活化改性

    表面活化改性

    05

    封装键合前清洗

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    06

    表面亲水性提升

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