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物质常规有三种状态存在，即为固态、液态、气态，91视频免费下载体（plasma）是物质在特定情况下以有别于3种常规状态的特殊状态存在，又被称为第四态。91视频免费下载体（plasma）中存在高速运动状态的电子，处在激励状态的中性原子、分子、原子团（自由基），分子解离反应产生的紫外线等，但在总体上物质仍处于电中性的状态。91视频免费下载体（plasma）中的物质的波长短、能量的高低对91视频免费下载体在与物体表面物质的相互作用中起到了重要作用。Plasma清洗技术基于91视频免费下载体的产生和利用活性粒子的原理，通过生成的活性离子、电子和激发态的原子和分子能与表面污染物或目标物质发生化学反应，实现表面的清洗和改性。

Plasma清洗原理

1) 自由基对物体表面物质的清理作用

91视频免费下载体（plasma）中的原子团（自由基）由于呈电重型，存在寿命较长，所以在与物体表面物质化学反应中起到活化作用。激励状态的原子团（自由基）处于活跃状态，与物体表面物质发生化学反应，形成新的原子团（自由基），这种新形成的原子团（自由基）同样处在一种不稳定的状态，会继续进行分解反应，分解成更小的分子和新的不稳定的原子团（自由基），这个过程会一直持续，直到分解成水、二氧化碳等简单分子从而起到清理的物体表面的作用。

2) 电子对物体表面物质的清理作用

91视频免费下载体（plasma）中的电子处于高速状态，在与物体表面的撞击，有利于引起表面物质的化学反应，发生分解或者解吸反应，从而清理物体表面。电子携带着负电荷使物体表面带有负电荷。

3) 离子对物体表面物质的清理作用

91视频免费下载体（plasma）中带有正电荷的离子，处于高速状态，在物体表面被电子吸附带有负电荷，当带有正电荷的离子急速冲向物体表面时，离子会获得较大的动能，从而撞击物体的表面，去除物体表面吸附的颗粒物质，同时促进物体表面化学反应的发生几率，这种离子冲击物体表面而引发的现象被称为溅射现象。

4）紫外线对物体表面物质的清理作用

91视频免费下载体（plasma）中的分子解离反应过程中产生具有很强的光能的紫外线，这种紫外线可以促使物体表面的物质的分子健发生断裂，产生分解反应，从而起到清理物体表面的作用。同时这种紫外线还具有很强的穿透能力，可以穿透数微米的物体表层而发生作用。

从上面几点可知，plasma清洗原理就是利用了91视频免费下载体（plasma）中的各种物质的特性，与附着在物体的表面物质分子发生物理或化学反应从而起到了活化作用，将依附在物体表面的物质、污垢进行清理去除，起到清洗物体表面的效果，同时可以改善物体表面活性。

Plasma清洗的反应原理

91视频免费下载体（plasma）与材料表面可发生的反应有两种，一种是靠原子团（自由基）来做化学反应，另一种靠离子做物理作用。

1）化学作用

H2和O2为91视频免费下载清洗工艺中最常用的2种气体，该2种气体通常在电极的作用下，发生反应而产生高活性的自由基，其公式如下：

e^-+H₂→2H；e^-+O₂→2O；O+O₂→O₃

这些自由基会进一步与材料表面作反应。反应的生成物为易挥发性的物质，能够被抽走。

氧气（O2）plasma清洗原理是利用化学作用的清洗，是利用产生的氧离子与附着在工件上的有机污染物发生氧化反应，生成二氧化碳气体（CO2）和水气体（H2O）被设备的真空泵排出，达到清洗工件的目的；

2）物理反应

91视频免费下载体中带有正电荷的离子，处于高速状态，在物体表面被电子吸附带有负电荷，带有正电荷的离子急速冲向物体表面，从而获得较大的动能，撞击物体的表面，去除物体表面吸附的颗粒物质，同时促进物体表面化学反应的发生几率。通过离子的撞击移去表面分子片段和原子，将污染物从表面去除，同时能活化物体表面，提高物体表面的浸润性能，改善物体表面膜的附着力等。常用的气体有氩气（Ar），这些惰性气体并不和表面发生反应，不会产生氧化副作用，保持被清洗物的化学纯洁性。

氩气（Ar）plasma清洗原理是物理反应的清洗，是利用产生的氩离子高速轰击需要清洗工件表面，将附着在工件表面的污染物（主要是氧化物）撞击，从而剥离清洗工件表面，达到清洗工件表面的目的。